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电子束曝光技术及其应用
电子束曝光技术及其应用
教师介绍

本讲教师:田悦
所属学科:工科
人  气:508

课程介绍
微纳加工技术讲座主要邀请国内外知名企业及微纳加工领域的同行分享行业内的最新技术进展,分享成功技术案例,建立技术服务与用户之间的沟通桥梁,提升我校的微纳加工整体水平。本期邀请报告以微纳加工领域中电子束曝光技术为主题,围绕其基本原理、工艺流程以及电子束曝光光刻胶的特征等开展,分享电子束曝光技术的应用案例。

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